Tytuł pozycji:
Analiza właściwości strukturalnych oraz powierzchni cienkiej warstwy mieszaniny tlenków (Ti-Cu) Ox z liniowym gradientem rozkładu pierwiastków
Niniejsza praca przedstawia wyniki badań powierzchni oraz struktury cienkich warstw (Ti-Cu)Ox wytworzonych metodą rozpylania magnetronowego. Cienkie warstwy zostały wytworzone w takie sposób, aby uzyskać gradientową zmianę koncentracji miedzi w funkcji grubości osadzonej warstwy. Analiza powierzchni wykazała, że wytworzone warstwy były jednorodne oraz wykazywały chropowatość na poziomie kilku nanometrów. Przeprowadzone analizy potwierdziły zadany liniowy gradient rozkładu miedzi w całej objętości cienkiej warstwy. Badania wykonane za pomocą transmisyjnego mikroskopu elektronowego wykazały, że warstwa zbudowana była z cienkiego, około 30 nm obszaru amorficznego przy podłożu oraz ze znacznie szerszego, około 280 nm obszaru, w którym obserwowano wzrost kolumnowy.
The present paper shows the results of surface investigations of the (Ti-Cu)Ox thin film layer fabricated by the magnetron sputtering. Thin films were prepared in order to achieve gradient change of the cooper concentration in the function of the thickness of the deposited layers. Analysis of the surface showed, that deposited films were homogenous and the roughness value were at the range of few nanometers. Conducted analysis of the films proved the linear gradient distribution of the cooper in the volume of the thin films. The measurements conducted with the help of transmission electron microscope showed, that the layer was composed from thin, ca. 30 nm thick amorphous area near the substrate and much larger, ca. 280 nm, where the fibrous grow was observed.
1. Opracowanie rekordu w ramach umowy 509/P-DUN/2018 ze środków MNiSW przeznaczonych na działalność upowszechniającą naukę (2018).
2. Praca naukowa finansowana ze środków na działalność statutową Ministerstwa Nauki i Szkolnictwa Wyższego w latach 2017-2018, zlec. nr 0401/0015/17.
