Metoda detekcji optycznej przeznaczona dla membranowych krzemowych czujników ciśnienia typu MEMS

W pracy przedstawiono nową metodę optycznej detekcji opracowaną dla czujników ciśnienia typu MEMS. Wykonany technikami mikroinżynieryjnymi mikrosystem może być zastosowany do pomiaru ciśnienia w warunkach silnego pola elektromagnetycznego, wysokiej temperatury i silnego promieniowania jonizującego. Wstępne testy czujnika ciśnienia zintegrowanego z elementami systemu optycznej detekcji dały pozytywne wyniki.

---

In paper a new optical detection method for silicon MEMS pressure sensors has been presented. Fabricated with using of the microengineering techniques microsystem is especially suitable for the pressure measurements in high temperature, high electromagnetic and high radiation environment. Preliminary testing of the pressure sensor integrated with components of the optical detection system has been successful.