Systemy mikroelektromechaniczne - MEMS w bezprzewodowych systemach komunikacyjnych

Przedstawiono aktualny stan techniki MEMS w zastosowaniu do realizacji scalonych systemów nadawczych i odbiorczych na zakres częstotliwości radiowych i mikrofalowych. Omówiono budowę i właściwości takich elementów MEMS, jak: kondensatory o zmiennej pojemności, spiralne cewki planarne o dużej dobroci, specjalne linie transmisyjne o małych stratach i małej dyspersji częstotliwościowej, przełączniki sygnałów w. cz. oraz mikrorezonatory i filtry. Przedyskutowano nowe architektury scalonych półprzewodnikowych systemów nadawczo-odbiorczych wykorzystywanych w komunikacji bezprzewodowej.

---

The paper provides a present day state of the art. of MEMS techniques applied in transceiver systems realized as semiconductor integrated circuits for wireless RF and microwave communication. Among the specific MEMS devices described are variable capacitors, high Q spiral planar inductors, micromachined transmission lines with low losses and low dispersion, low-loss micromachined rf switches, microscale vibrating electromechanical resonators and band-pass filters. There are discussed also new architectures of integrated receivers and transmitters utilized in wireless communication systems.