Diagnostyka stanu procesu syntezy związku półprzewodnikowego na podstawie pomiarów pośrednich

Synteza związków półprzewodnikowych jest przeprowadzana w warunkach wysokiej temperatury i ciśnienia. W urządzeniu produkcyjnym nie ma możliwości bezpośredniego pomiaru zmiennych procesu wewnątrz reaktora. Dla zapewnienia bezpieczenśtwa pracy zastosowano system autodiagnostyczny, bazujący na modelu odniesienia, opisanym jako przebiegi mierzalnych pośrednich zmiennych procesu.

---

The synthesis of semiconductor compounds is processed in high temperature and pressure. The direct measurement of process variables inside of the reactor of the production system is unfeasible. For safety of the process the autodiagnostics based on the reference model described as the schedule of the changes of the measurable indirect process variables is applied.