Akustyczne mody płytowe w kryształach piezoelektrycznych

Przedstawiono algorytm i program komputerowy do obliczeń akustycznych modów płytowych (AMP) w kryształach piezoelektrycznych. Obliczenia numeryczne i pomiary wykonano dla kwarcu o orientacji ST. Uzyskano dobrą zgodność obliczeń i pomiarów widma AMP o częstotliwościach nieco większych od częstotliwości akustycznej fali powierzchniowej (AFP). Pozwala to na ocenę tłumienności wtrąceniowej w paśmie zaporowym filtrów z AFP. Ze względu na możliwość wykorzystania jednej płaszczyzny płytki do wzbudzania AMP, a drugiej do pomiaru jej obciążenia mechanicznego lub elektrycznego, istnieje możliwość oddzielenia tych obszarów, co jest ważne w przypadku zastosowań w czujnikach chemicznych pracujących w agresywnym środowisku.

---

An algorithm and a computer program for calculations of acoustic plate modes (APM) in piezoelectric crystals is presented. Numerical calculations and measurements were done for ST orientation of quartz. Good agreement of calculations and measurements was obtained for the APM spectrum, located at slightly higher frequencies than the surface acoustic wave (SAW) frequency. This allows to estimate the insertion loss in the stop bands of SAW filters. Because one plane of the plate can be used for APM excitation, while the other one for mechanical or electrical loading, it is possible to separate these areas, which is important in the case of applications in chemical sensors operating in an aggressive environment.