Thermoelectrical, conductometrical and optical studies of gas sensing TiO₂ : (V, Ta) thin films

For the purpose of this work TiO₂ : (V, Ta) thin films have been manufactured and characterized. Two types of performed measurements, that are conductometrical and thermoelectrical and differences between them have been especially discussed. Measurements of response and recovery times of Ti0₂ : (V, Ta) thin film gas sensor in the presence of isopropyl alcohol have been carried out. Optical properties, i.e. transparency and its changes in the presence of isopropanol have been also studied.

---

W artykule przedstawiono wyniki badania wytworzonych cienkich warstw TiO₂ : (V, Ta). Wykonano pomiary konduktometryczne oraz termoelektryczne badanych cienkich warstw i omówiono różnice między nimi. Wyznaczono czasy odpowiedzi oraz odtrucia gazoczułych cienkich warstw TiO₂ : (V, Ta) dla pobudzenia parami alkoholu izopropylowego. Badano również zmianę właściwości optycznych cienkich warstw w obecności izopropanolu.