Zastosowanie zjawiska propagacji akustycznej fali powierzchniowej w sensorach gazu

Przedstawiono możliwości wykorzystania zjawiska propagacji akustycznej fali powierzchniowej do detekcji gazów. Oddziaływanie określonych zewnętrznych wielkości fizycznych na ośrodek propagacji, w tym na samą powierzchnię, wpływa na warunki graniczne zagadnienia propagacji fali powierzchniowej. W przypadku czujników gazu zaburzenie propagacji (prędkości i tłumienia) zachodzi wskutek zmian właściwości mechanicznych i/lub elektrycznych cienkiej warstwy sensorowej naniesionej na powierzchnię falowodu. Wyniki rozważań teoretycznych potwierdzono badaniami eksperymentalnymi.

---

Presents theoretical possibilities of application of a SAW in gas sensors. Interaction of external physical quantity on propagation medium, including the surface, can affect SAW propagation. In gas sensors disturbance of SAW propagation is results from change of the mechanical as well as electrical properties of a thin active sensor layer placed on a piezoelectric surface. The experimental results also have been presented.