Ion source with radiofrequency mass filter for sputtering purposes

Szczegóły
Opis

Tytuł:: Ion source with radiofrequency mass filter for sputtering purposes
Autorzy:: Sielanko, Juliusz (1938- )Sowa, Marek (1944- )
Współwytwórcy:: Sowa, Marek (1944- )
Data publikacji:: 1990
Wydawca:: UMCS
Tematy:: fizyka
Źródło:: Zasoby Biblioteki Głównej UMCS
Język:: angielski
Prawa:: Utwór udostępniony za zgodą wydawcy. Całość ani żadna z jej części nie może być przetwarzana ani wykorzystywana w celach komercyjnych
http://www.europeana.eu/rights/rr-f/
Dostawca treści:: Academica
: Artykuł

Przejdź do źródła

artykul w: Annales Universitatis Mariae Curie-Skłodowska. Sectio AAA, Physica Vol. 45, 13 (1990), strony 123-129

artykuł

Streszczenie w języku polskim.

Bibliografia na stronach 128-129.

tytul rownolegly: Źródło jonów z filtrem mas o częstości radiowej do rozpylania jonowego

Tytuł nagłówkowy.

Informacja

Ion source with radiofrequency mass filter for sputtering purposes