- Tytuł:
- Topographic and reflectometric investigation of crystallographic defects and surface roughness in 4H silicon carbide homoepitaxial layers deposited at various growth rates
- Autorzy:
- Wierzchowski, W.
- Współwytwórcy:
-
Balcer, T.
Paulmann, C.
Strupiński, W.
Kościewicz, K.
Wieteska, K.
Mazur, K. - Data publikacji:
- 2012
- Język:
- angielski
- Prawa:
-
http://www.europeana.eu/rights/rr-f/
Publikacja udostępniona za zgodą wydawcy. Całość ani żadna z jej części nie może być przetwarzana ani wykorzystywana w celach komercyjnych - Dostawca treści:
- Academica
- Artykuł