Niskociśnieniowe źródło plazmy azotowej w technologiach hybrydowych

W artykule opisano zasadę działania źródła jonów AIDA (opracowanie Białoruskiej Akademii Nauk), którego konstrukcja jest doskonalona w Instytucie Mechaniki Precyzyjnej. W prowadzonych badaniach źródło zastosowano w technologii hybrydowej złożonej z procesów azotowania gazowego i PA PVD. W celu ilustracji efektów technologicznych z zastosowaniem źródła w procesach PA PVD przedstawiono wyniki badań: oddziaływania formowanego strumienia jonów N2+ i cząstek wzbudzonych N2* powierzchnią Fe oraz współpracy (asysty) źródła w syntezie TiN prowadzonej nad technologią łuku niskociśnieniowego PVD-Arc. Badania wykazały możliwość wzbogacenia plazmy wyładowania łukowego w jony azotu i otrzymywanie powłok TiN o wysokiej adhezji do warstwy azotków żelaza.

---

The article describes the principle of operation of the ion source AIDA (worked out at the Belarusian Academy of Sciences) which design was perfected in the Institute of Precision Mechanics. In this study, source used in hybrid technology consisting of a gas nitriding and PA PVD. In order to illustrate the effects of technological sources using PA PVD processes presents the results of effects: the impact of molded stream of ions (N2+) and excited molecule (N2*) reactive surface Fe and cooperation sources with in the synthesis of TiN conducted on the technology of low pressure arc PVD-Arc. Studies have shown enrichment arc discharge plasma, and nitrogen ions produce coatings with high adhesion TiN layer of iron nitride.