Współczesne sensory mechano-elektryczne

W artykule przedstawiono syntetyczny przegląd współczesnych sensorów mechano — elektrycznych wykorzystywanych w szeroko rozumianych systemach kontrolno — pomiarowych. Dokonano podziału istniejących konstrukcji sensorów ze względu na stopień zintegrowania z układami kondycjonowania sygnałów oraz ze względu na technikę wytwarzania. Główna uwaga została skoncentrowana na sensorach krzemowych, piezoelektrycznych cienkowarstwowych oraz światłowodowych ze względu na ich dominujące znaczenie w technice pomiarowej. Omówiono podstawowe konstrukcje oraz najnowsze tendencje rozwojowe.

---

Paper presents a synthetic review of modern sensors uses in a measurement systems dedicated for mechanical quantities. Authors divided presented sensors into several groups, taking in to consideration from one side the level of integration with a conditioning circuits and from the other side the technology of production. The main attention has been focused on silicon sensors, think films piezoelectric sensors and light fibre sensors because of their dominant position on the market. The basic structures and new trends of sensors have been discussed.