WOPT - uniwersalny system do analizy i symulacji widm optycznych cienkich struktur dielektrycznych

Przedstawiono system WOPT umożliwiający symulację złożonych, dielektrycznych powłok cienkowarstwowych. Oprogramowanie służy zarówno do projektowania specjalistycznych wielowarstwowych powłok optycznych jak i do kontroli parametrów gotowych produktów cienkowarstwowych. Za pomocą programu można wykonać analizę grubości oraz optycznych parametrów materiałowych powłok dielektrycznych na postawie wykonanych pomiarów spektralnych. Wykonano badania efektywności algorytmu dla rzeczywistych pomiarów spektrometrycznych. Potwierdzono możliwość wyznaczania grubości struktur umieszczonych w próżni, w cieczach oraz osadzonych na podłożach o różnej grubości. Wykonano badania wpływu parametrów algorytmu na szybkość i dokładność obliczeń widm optycznych, grubości oraz optycznych parametrów warstw.

---

The WOPT software enabling the simulation optical spectrums of thin dielectric layers was described. The soft-ware serves both for designing specialist multilayered optical covers and for the control of parameters of thin-layered products. With the help of the program it is possible to carry out analysis of the thickness and optical solid material dielectric covers of spectral measurements on the attitude carried out. Examining the effectiveness of the algorithm was carried out using spectral measurements. The possibility of estimation of the thickness of structures was confirmed in the vacuum, in liquids and prisoners on different substrates with the various thicknesses. The influence investigation of parameters of the algorithm on the speed and the accuracy of calculations of optical spectrums, thickness and solid optical a layers were made.