Composite layers produced on nickel substrate by the PACVD metod with the participation of trimethylaluminum

The paper is concerned with the process of fabrication of composite layers of the Al2O3 + NiAl + Ni3Al type using the PAMOCVD method with the participation of trimethylaluminum introduced into the reactive atmosphere. The layers have high hardness and good frictional wear resistance. Examinations of the chemical and phase compositions (light microscopy, SEM, TEM, XRD) evidently show that the layers have the diffusion character. The aluminium oxide surface zone, 1um thick, is characterized by a nanocrystalline structure. The model of the formation of the layers is also discussed.

---

W artykule przedstawiono proces wytwarzania warstw kompozytowych typu Al2O3 + NiAl + Ni3Al metodą PAMOCVD z zastosowaniem trimetyloglinu w atmosferze reaktywnej. Warstwa ta charakteryzuje się wysoką twardością oraz dobrą odpornością na zużycie przez tarcie. W artykule przedstawione są badania składu chemicznego i fazowego (mikroskopia świetlna, metody SEM, TEM, XRD), które wykazały jednoznacznie charakter dyfuzyjny wytwarzanych warstw. Powierzchniowa strefa tlenku glinu posiada grubość rzędu 1 um i charakteryzuje się nanokrystaliczną strukturą. Przedstawiono również model tworzenia się warstwy.