Estimation of Rise Time of Discharge Current for Air Discharge of ESD-Gun with Low Charge Voltages

With a 12-GHz digital oscilloscope, we measured discharge current waveforms for air discharges of an ESD-gun less than 1 kV onto a 50- [omega] SMA connector. To grasp real rise time of the observed waveforms, we reconstructed input current waveforms from complex frequency responses of the first and second order for the vertical amplifier of oscilloscopes, and estimated the rise time concerning them. As a result, we found that the frequency response measured for the oscilloscope agrees well with that of second order, which gives a minimum rise time of 27 ps at 300V.

---

Wykorzystując cyfrowy oscyloskop o paśmie 12 GHz dokonano pomiarów kształtów prądów wyładowań elektrostatycznych w powietrzu przy poziomie napięcia na generatorze poniżej 1kV i przy obciążeniu 50 [omega]. W celu wyznaczenia rzeczywistego czasu narastania prądu zrekonstruowano jego kształt z zespolonej odpowiedzi częstotliwościowej pierwszego i drugiego rzędu w płaszczyźnie pionowej oscyloskopu. W rezultacie ustalono minimalny czas narastania prądu równy 27 ps dla napięcia 300V.