Warstwa diamentopodobna jako obszar czynny dla czujników światłowodowych

Przedstawiono ideę konstrukcji głowicy czujnikowej zawierającej warstwy diamentopodobne, osadzone w procesie RF PACVD na specjalnie przygotowanych światłowodach planarnych. Badania wykazują bardzo wysoką czułość podobnego rozwiązania opartego na włóknach światłowodowych na zmiany wilgotności otoczenia głowicy. Wykazano zależność czułości układu od wielkości obszaru czynnego DLC/NCD głowicy i parametrów procesu osadzania.

---

The manuscript presents an idea of using diamond-like carbon film deposited with the Radio Frequency Plasma Activated Chemical Vapour Deposition method onto specially prepared optical planar waveguide, which can be used as a sensing head. The experiments prove very high sensitivity to humidity of similar fibre optic system. The sensitivity depends on a length of the DLC/NCD section and deposition process parameters.