Monolityczne mikrofalowe układy scalone - technologia, modelowanie i projektowanie

W ostatnich latach technologia monolitycznych mikrofalowych układów scalonych rozwijała się bardzo szybko i obecnie jest dziedziną w pełni dojrzałą i opanowaną. Niniejsza publikacja przedstawia istotne informacje o zastosowaniach, technologii, modelowaniu i projektowaniu MMUS. Omówiono kroki procesu technologicznego wytwarzania MMUS, podano informacje o layoufcie i modelach małosygnałowych elementów aktywnych (tranzystorów MESFET/HEMT) i elementów biernych realizowanych w monolitycznych mikrofalowych układach scalonych na podłożu GaAs. Przedstawiono przykłady kilku MMUS zaprojektowanych i zmierzonych w Instytucie Systemów Elektronicznych Politechniki Warszawskiej, a wykonanych za pomocą procesu Philips GaAs D02AH Limail.

---

In last years monolithic microwave integrated circuits (MMIC) technology has progressed very rapidly and has now reached a state of maturity. The emphasis of this paper is essential information on the application, technology, modelling and design of MMIC. The technological background as well as discussion of layout and smali signal models of active devices and passive circuit elements available in GaAs-based monolithic microwave integrated circuits are given. Examples of such integrated circuits designed and measured at the Institute of Electronic Systems of the Warsaw University of Technology are also presented.