Zastosowanie tomografii komputerowej do oceny jakości mikrostruktur elektronicznych

Od ponad 40 lat tomografia komputerowa jest z powodzeniem stosowana w medycynie jako technika diagnostyczna. Nieustanny rozwój konstrukcji tomografów i algorytmów rekonstukcyjnych umożliwił zastosowanie tomografów komputerowych w dziedzinie nauk technicznych, między innymi elektroniki. W artykule zostanie zaprezentowany zarys historyczny tomografii, systematyka metod tomograficznych, zasada działania i konstrukcje tomografów oraz przykłady zastosowań tomografu do diagnostyki wybranych mikrostruktur elektronicznych.

---

Since 40 years computed tomography has been successfully applied in medicine as diagnostic method. Continuous design development of computed tomography (CT) equipment and progress in image reconstruction algorithms enabled application of CT in technical sciences, including electronics. Within the frame of this paper historical outline of computed tomography, systematics of tomographic methods, basic principles and designs of CT equipment, and examples of application of computed tomography in diagnostics of selected electronic microstructures.