Tytuł pozycji:
Integrated thermal probe for SThM investigation of micro- and nanoelectronic devices
- Tytuł:
-
Integrated thermal probe for SThM investigation of micro- and nanoelectronic devices
- Autorzy:
-
Janus, P.
Szmigiel, D.
Wielgoszewski, G.
Weisheit, M.
Ritz, Y.
Grabiec, P.
Hecker, M.
Gotszalk, T.
Sulecki, P.
Zschech, E.
- Data publikacji:
-
2010
- Słowa kluczowe:
-
mikroskopia sił atomowych
skanująca sonda termiczna
atomic force microscopy (AFM)
Scanning Thermal Probe
- Język:
-
angielski
- Dostawca treści:
-
BazTech
-
Przejdź do źródła Link otwiera się w nowym oknie
In this paper, we present a novel micromachined Atomic Force Microscopy (AFM) micro-cantilever equipped with a sharp, conductive platinum tip. The processing sequence proposed in this article integrates a high reproducibility and precise post processing applying Focused Ion Beam tip modification. The cantilever is designed for Scanning Thermal Microscopy (SThM) applications in a standard setup with the optical AFM detection system.
W artykule zaprezentowano nową konstrukcję dźwigni mikroskopu sił atomowych (AFM) wyposażoną w przewodzące, platynowe ostrze pomiarowe. Sekwencja technologiczna wytwarzania przedstawianej sondy integruje wysoką powtarzalność z precyzyjnym postprocessingiem ostrza za pomocą zogniskowanej wiązki jonów (ang. Focus Ion Beam). Prezentowana mikrosonda przystosowana jest do zastosowań w skanującym mikroskopie termicznym (ang. Scanning Thermal Micorscopy) ze standardową, optyczną detekcją ugięcia dźwigni. W artykule zaprezentowano proces technologiczny wytwarzania sondy oraz uzyskane wyniki pomiarów.
