- Tytuł:
- Wpływ wygrzewania na jakość warstw SiO₂ wytwarzanych na podłożach 4H-SiC metodą utleniania termicznego
- Współwytwórcy:
-
Instytut Tele- i Radiotechniczny
Instytut Transportu Samochodowego
Kalisz, Małgorzata
Król, Krystian
Sochacki, Mariusz
Politechnika Warszawska. Wydział Elektroniki i Technik Informacyjnych. Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki
Szmidt, Jan - Data publikacji:
- 2011
- Źródło:
- Biblioteka Narodowa
- Język:
- polski
- Prawa:
-
http://www.europeana.eu/rights/rr-r/
Publikacja chroniona prawem autorskim - reprodukcja cyfrowa dostępna w czytelniach BN i na terminalach Academiki - Dostawca treści:
- Academica
- Artykuł