Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.

Tytuł pozycji:

Warstwy a-SiNx:H o różnej zawartości azotu osadzane w układzie PECVD

Szczegóły
Opis

Tytuł:: Warstwy a-SiNx:H o różnej zawartości azotu osadzane w układzie PECVD
Współwytwórcy:: Kluska, Stanisława
Tkacz-Śmiech, Katarzyna
Boszkowicz, Piotr
Jurzecka-Szymacha, Maria
Akademia Górniczo-Hutnicza im. Stanisława Staszica w Krakowie. Wydział Inżynierii Materiałowej i Ceramiki
Data publikacji:: 2010
Źródło:: Biblioteka Narodowa
Język:: polski
Prawa:: http://www.europeana.eu/rights/rr-r/
Publikacja chroniona prawem autorskim - reprodukcja cyfrowa dostępna w czytelniach BN i na terminalach Academiki
Dostawca treści:: Academica
: Artykuł

Przejdź do źródła

Bibliogr.

Streszcz. ang.

Ta witryna wykorzystuje pliki cookies do przechowywania informacji na Twoim komputerze. Pliki cookies stosujemy w celu świadczenia usług na najwyższym poziomie, w tym w sposób dostosowany do indywidualnych potrzeb. Korzystanie z witryny bez zmiany ustawień dotyczących cookies oznacza, że będą one zamieszczane w Twoim komputerze. W każdym momencie możesz dokonać zmiany ustawień dotyczących cookies

Informacja

Warstwy a-SiNx:H o różnej zawartości azotu osadzane w układzie PECVD