- Tytuł:
-
Metoda dwutemperaturowego wzrostu krzemowych warstw epitaksjalnych = Two-temperature growth of Si epitaxial layers
Metoda dwutemperaturowego wzrostu krzemowych warstw epitaksjalnych
Materiały Elektroniczne 1975 nr 1(9) - Autorzy:
- Borkowicz Jerzy
- Współwytwórcy:
- Korec Jacek
- Data publikacji:
- 1975
- Wydawca:
- Wydaw. Przemysłu Maszynowego "WEMA"
- Słowa kluczowe:
-
Si
warstwa epitaksjalna
epitaxial layer
Elektronika - czasopismo - materialy
Electronic - materials
Materiały elektroniczne
CVD
Electronic - journal - materials - Źródło:
-
http://katalog.pan.pl/webpac-bin/218bitmePL/wgbroker.exe?new+-access+top+search+open+NR+kv_5435
http://katalog.pan.pl/webpac-bin/218bitmeEN/wgbroker.exe?new+-access+top+search+open+NR+kv_5435
ITME, sygn. dostępny - Język:
- polski
- Prawa:
-
Prawa zastrzeżone - dostęp nieograniczony
Rights Reserved - Free Access - Linki:
- https://rcin.org.pl/dlibra/publication/edition/19788/content  Link otwiera się w nowym oknie
- Dostawca treści:
- RCIN - Repozytorium Cyfrowe Instytutów Naukowych
- Książka