Modyfikacja technologii polerowania płytek GaSb stosowanych jako podłoża w procesie epitaksji = Modification of mechanical-chemical treatment technology of epi-ready GaSb substrates

Tytuł:: Modyfikacja technologii polerowania płytek GaSb stosowanych jako podłoża w procesie epitaksji = Modification of mechanical-chemical treatment technology of epi-ready GaSb substrates
Materiały Elektroniczne. T. 42 Nr 2
Modyfikacja technologii polerowania płytek GaSb stosowanych jako podłoża w procesie epitaksji
Electronic Materials T. 42 Nr 2
Autorzy:: Smoczyński, Dariusz
Data publikacji:: 2014
Wydawca:: ITME
Słowa kluczowe:: GaSb
obróbka mechaniczno-chemiczna
oxidation
roughness
mechanical - chemical treatment
epitaxy
epitaksja
utlenianie katalityczne
Źródło:: http://katalog.pan.pl/webpac-bin/218bitmeEN/wgbroker.exe?new+-access+top+search+open+NR+kv_6627
http://katalog.pan.pl/webpac-bin/218bitmePL/wgbroker.exe?new+-access+top+search+open+NR+kv_6627
Język:: polski
Prawa:: Prawa zastrzeżone - dostęp nieograniczony
Rights Reserved - Free Access
Linki:: https://rcin.org.pl/dlibra/publication/edition/53413/content Link otwiera się w nowym oknie
Dostawca treści:: RCIN - Repozytorium Cyfrowe Instytutów Naukowych
: Książka

Przejdź do źródła

5.: 5-12 il., 30 cm.

Bibliogr. s.: 12

Informacja