- Tytuł:
- Plasma deposition and etching of carbon layers for microelectronics
- Autorzy:
-
Galazka M.
Szmidt J.
Werbowy A. - Tematy:
-
plasma deposition
thin carbon layer
plasma etching
microelectronics
aluminium mask
carbon layer - Język:
- angielski
- Dostawca treści:
- AGRO
- Artykuł