- Tytuł:
- Metody badawcze cienkich warstw wytworzonych metodą osadzania warstw atomowych
- Autorzy:
-
Boryło, Paulina
Szindler, Marek
Szindler, Magdalena
Lukaszkowicz, Krzysztof - Data publikacji:
- 2019
- Słowa kluczowe:
-
badanie warstw
cienkie warstwy
osadzanie warstw atomowych
skaningowa mikroskopia elektronowa
mikroskopia sił atomowych
layer analysis
thin layers
atomic layer deposition
atomic force microscopy
scanning electron microscopy - Język:
- polski
- Dostawca treści:
- BazTech
- Artykuł