- Tytuł:
- Jak powstają te maleństwa?
- Autorzy:
- Sulima, R.
- Data publikacji:
- 2008
- Słowa kluczowe:
-
miniaturyzacja
mikroelektronika
fotolitografia
nanolitografia
elektronolitografia
rentgenolitografia
litografia
miniaturization
microelectronics
photolithography
nanolithography
electron-beam lithography
X-ray lithography
lithography - Język:
- polski
- Dostawca treści:
- BazTech
- Artykuł