- Tytuł:
- Badanie rozkładu grubości powierzchni cienkich warstw metodą elipsometrii spektroskopowej
- Autorzy:
-
Hajduk, Barbara
Jarka, Paweł
Nitschke, Paweł - Data publikacji:
- 2019
- Słowa kluczowe:
-
elipsometria spektroskopowa
rozkład grubości
cienkie warstwy
badania nieniszczące
spectroscopic ellipsometry
thickness distribution
thin films
non-destructive testing - Język:
- polski
- Dostawca treści:
- BazTech
- Artykuł