Tytuł pozycji:
Wpływ wysokotemperaturowego wygrzewania na właściwości cienkich warstw TiO₂ wytworzonych metodą rozpylania magnetronowego
W pracy przedstawiono wyniki badania wpływu wygrzewania wysokotemperaturowego cienkich warstw TiO₂ na ich właściwości strukturalne, optyczne oraz trybologiczne. Cienkie warstwy TiO₂ zostały wytworzone w ciągłym oraz sekwencyjnym procesie rozpylania magnetronowego. Wygrzewanie wysokotemperaturowe miało znaczący wpływ na zmianę struktury cienkich warstw z fazy anatazu na mieszaninę anatazu i rutylu. Ponadto wygrzewanie poprocesowe spowodowało znaczny spadek współczynników transmisji światła w obu przypadkach z 80% do 50%. Zaobserwowano także przesunięcie długości fali odcięcia w kierunku podczerwieni o około 20÷25 nm. Badania przedstawione w pracy pokazały, że twardość również się zmniejsza z 10 GPa dla warstw po naniesieniu do zaledwie 3 GPa (proces ciągły) oraz 6,2 GPa (proces sekwencyjny).
This paper provides research investigation results and analysis of influence of the high-temperature annealing on the structural, optical and tribological properties of TiO₂ thin film coatings. Thin-film coatings were deposited in continuous and sequential processes using multi-magnetron sputtering stand. High-temperature annealing had a significant effect on the change of the structure of thin film coatings from the anatase to the mixture of anatase and rutile phase. In addition, post-process annealing caused a significant decrease of the transparency level in both cases from 80% to 50%. It was also observed that λcut-off was shifted towards the infrared wavelength range of ca. 20÷25 nm. Research on tribological properties shown that hardness decreases from 10 GPa for as-deposited thin films to 3 GPa (deposited in continuous process) and 6.2 GPa (deposited in sequential process) for annealed coatings.
1. Opracowanie rekordu w ramach umowy 509/P-DUN/2018 ze środków MNiSW przeznaczonych na działalność upowszechniającą naukę (2018).
2. Praca powstała ze środków Ministerstwa Nauki i Szkolnictwa Wyższego Narodowego Centrum Nauki w ramach projektu badawczego luventus plus nr IP204 029473 oraz przy udziale środków statutowych (zlecenie nr 0401/0015/17), a także w projekcie badawczym własnym nr 0402/0046/17.
