Analiza składu chemicznego i fazowego cienkich powłok Fe-Cr wytworzonych na proszku Cu przy użyciu techniki napylania magnetronowego

Wytwarzano cienkie powłoki Fe-Cr na podłożu sproszkowanej miedzi metodą fizycznego osadzania z fazy gazowej. Jako materiału napylającego użyto stali nierdzewnej 1,4021 (AISI 420). Próbki proszku do analizy pobierano okresowo podczas procesu napylania. Uzyskane powłoki roztwarzano w kwasie solnym, a otrzymane roztwory analizowano na obecność jonów Fe2+ i Cr3+. Stwierdzono, że ilości Fe i Cr w powłoce są wprost proporcjonalne do czasu napylania. Proporcje obu składników w powłoce były zbliżone do składu chemicznego zastosowanego targetu. Skład fazowy warstwy powierzchniowej proszku analizowano metodą asymetrycznej dyfrakcji promieniowania rentgenowskiego (XRD). Analiza nie wykazała obecności miedzi w otrzymanych powłokach.

---

Thin Fe-Cr coatings have been deposited by physical vapor deposition on powdered copper substrate. The 1,4021 (AISI 420) stainless steel was used as a sputtering material. The powder samples were being taken periodically for analysis during sputtering process. The obtained Fe-Cr coatings were subjected to etching in hydrochloric acid and solutions - analyzed on Fe2+ and Cr3+ content. It was found that the amounts of Fe and Cr in the coatings were directly proportional to the sputtering time. The proportions of both elements in the layer are close to their contents in the applied target. The phase composition of the powder surface layers was analyzed by glancing angle X-Ray Diffraction (XRD). The analysis did not reveal the presence of the copper in the obtained coatings.