Wpływ składu gazu roboczego na proces wzrostu warstw diamentowych otrzymywanych przez chemiczne osadzanie metodą gorącego włókna

Badano proces syntezy warstw diamentowych prowadzony metodą HF CVD. Zwrócono uwagę, że zmiana nawet jednego z parametrów procesu wpływa istotnie na zmianę jakości warstwy oraz jej strukturę. W tym celu posłużono się takimi nieinwazyjnymi metodami badawczymi, jak skaningowa mikroskopia elektronowa, spektroskopia Ramana i analiza EDS. Zastosowane metody wzajemnie uzupełniały się i potwierdziły istotny wpływ zawartości metanu w gazie roboczym na jakość oraz wielkość ziaren otrzymanej warstwy diamentowej.

---

Diamond layers were deposited on a Si substrate by hot-filament chemical vapor deposition from a MeH-H₂ mixt. at 2200°C (W wire) and studied by Raman spectroscopy, scanning electron microscopy and electron dispersive spectroscopy for mol. structure and chem. compn. The grain size in the diamond layer increased with the increasing content of MeH in the gas mixt. (1–3% by vol.).