Zastosowanie obróbki elektrochemiczno-elektroerozyjnej w mikrowytwarzaniu

Wśród procesów mikrowytwarzania szczególne miejsca zajmują mikroobróbka elektrochemiczna (ECMM) i elektroerozyjna (EDMM). Znajdują one zastosowanie przede wszystkim w produkcji mikrostruktur 3D, części do prototypów MEMS, oprzyrządowania technologicznego oraz mikronarzędzi. Przedstawiono charakterystykę porównawczą mikroobróbki elektrochemicznej i elektroerozyjnej w aspekcie ich wykorzystania w mikrowytwarzaniu. Przeanalizowano możliwości integracji tych metod w ramach obróbki kompletnej lub hybrydowej. Omówiono także wyniki prac własnych związanych z opracowaniem sekwencyjnej obróbki elektrochemiczno-elektroerozyjnej realizowanej na jednej obrabiarce.

---

From among several micropart manufacturing processes, special attention is paid to electrochemical (ECMM) and electrodischarge (EDMM) micromachining. These processes have been specially predicted to produce 3D-sculptured surfaces, parts for the MEMS prototypes, production process tooling and micro tools. There is presented a comparative characteristics of the ECMM and EDMM methods in the aspect of their application in production of micro systems. Results of this work were used for discussion on practical feasibility of combining ECMM and EDMM (ECMM/ /EDMM) within a complete or hybrid process. Also discussed are the results of the exclusive works on the sequential ECMM/EDMM process when carried out on the same machine tool.