Badanie powierzchni materiałów ceramicznych metodą spektrometrii masowej jonów wtórnych

Profile głębokościowe przypowierzchniowego obszaru szkła sodowo glinokrzemianowego i warstwy diamentowej zostały otrzymane metodą spektrometrii masowej jonów wtórnych (SIMS). Profile pokazały zależność od wiązki jonów pierwotnych tlenu i cezu. Efekt ten jest wyjaśniany różnym mechanizmem modyfikacji powierzchni poddawanej działaniu jonów pierwotnych.

---

Depth profiles of the near-surface region of sodium aluminosilicate glass and diamond film were obtained by the secondary ion mass spectrometry method. The profiles showed the dependence on oxygen and cesium ion beams. This effect is explained by various modification mechanisms of the surface treated with primary ions.