Układy automatycznej regulacji prądu termoemisji elektronowej w próżniowych przyrządach pomiarowych

Niniejsza praca zawiera przegląd dotychczas opracowanych układów regulacji prądu termoemisji elektronowej dla niskich energii elektronów wykorzystywanych w próżniowych przyrządach pomiarowych, między innymi, spektrometrach mas, próżniomierzach jonizacyjnych. W efekcie przeprowadzonej analizy zaproponowany został układ automatycznej regulacji prądu termoemisji elektronowej z cyfrowym, nieliniowym regulatorem PID.

---

This paper contains a review of thermionic emission current regulation circuits for low electron's energy widely used in vacuum measurement instruments for example mass spectrometers, ionization gauges. Based on the analysis results a new thermionic emission current controller using non-linear, digital PID configuration has been proposed.