Resonance phenomena in micro/nanoelectromechanical systems

W artykule przedstawiono pewne aspekty nieliniowości w mikro/nanoukładach elektromechanicznych (MEMS/NEMS). Ze względu na duże odkształcenia mikro/nanobelek nieliniowy opis jest konieczny. W szczególności do równania ruchu belki wprowadzono wyraz opisujący nieliniową bezwładność. Podano wyniki obliczeń numerycznych dla krzywych rezonansowych oraz obszarów niestateczności. Rezultaty przedstawiono na wykresach.

---

In the paper, some aspects of nonlinearity of micro/nanoelectromechanical systems (MEMS/ NEMS) are presented. Because of great values of strains of micro/nanobeams the nonlinear description is necessary. Particularly, the nonlinear inertia term is added to equation relating to motion of the beam. Numerical calculations of resonance curves and instability regions are given. Results are presented on graphs.