Badania składu chemicznego, właściwości i struktury warstw powierzchniowych i powłok metodami wysokorozdzielczej mikroskopii skaningowej z wykorzystaniem detektorów EDS i EBSD

Celem pracy było opracowanie metodyki badań składu chemicznego i fazowego oraz struktury warstw wierzchnich i powłok metodami wysokorozdzielczej mikroskopii skaningowej z wykorzystaniem detektorów EDS i WDS. W ramach badań opracowano metodykę, którą następnie zweryfikowano w badaniach warstw naniesionych metodami PVD.

---

The purpose of the work was to develop methodology for investigations of chemical and phase composition and structure of surface layers and coatings by high-resolution scanning microscopy methods using EDS and WDS detectors. As a part of the investigations, the methodology was developed and then verified in examinations of the layers applied by PVD methods.