Oddziaływanie plazmy wyładowań jarzeniowych z powierzchnią ciała stałego

Oddziaływanie plazmy wyładowania jarzeniowego z powierzchnią ciała stałego ma wiele zastosowań w nowoczesnych technologiach elektroniki i w mechanice. Procesy składające się na to oddziaływanie są złożone i są ciągle w fazie badań podstawowych. Typowe spektra energetyczne ciężkich cząsteczek bombardujących ciało stałe wykazują charakter wykładniczy. Typowe koncentracje rozpylonych atomów w fazie plazmy są kilka rzędów mniejsze od koncentracji atomów gazu buforowego. Jednak natężenie linii widmowych emitowanych przez te atomy jest na poziomie natężenia linii gazu buforowego. Szczególne cechy wyświecania linii przez rozpylony materiał ciała stałego nie znajduje dotąd wyjaśnienia.

---

The glow discharge plasma-solid surface interaction is often used in modern technologies of electronics or mechanics. Processes consisting of this interaction, e.g. sputtering, are complex and are still under fundamental studies. Typical energy spectra of heavy particles bombarding solid show exponential character. Typical calculated concentration of solid atoms sputtered to the plasma phase are few order lower than those of buffer gas. However intensities of optical lines emitted by sputtered atoms are at level of those of buffer gas. This particular character of sputtered atoms lighting has not yet full explanation.