Rola analitycznej mikroskopii elektronowej w badaniach nowoczesnych materiałów.

W pracy przedstawiono potencjał i możliwości analitycznej mikroskopii elektronowej jako techniki badawczej pozwalającej na określenie zmian składu chemicznego w obszarach rzędu kilku nanometrów. Dokonano szczególnej analizy spektroskopii promieniowania X z dyspersją energii (EDX) zwracając szczególną uwagę na znaczenie maksymalnej zdolności rozdzielczej poprzecznej, związku pomiędzy geometrią próbki, padającą wiązką elektronów i położeniem detektora EDX, granicy wykrywalności oraz problemu dekonwolucji (rozplatania) sygnału generowanego z próbki i gromadzonego przez detektor EDX. Potencjał i możliwości techniki EDX pokazano na podstawie przykładów analiz wykonanych dla określenia redystrybucji pierwiastków w złączach elektronicznych, w warstwie powierzchniowej stopów na bazie Ti po przetopieniu laserowym w atmosferze azotu oraz struktur wielowarstwowych MoSi stosowanych w rentgenografii.

---

Potential and capabilities of the analytical electron microscopy as a technique of determination of the chemical composition variation in the areas as small as several nanometers are described. Both methods of the chemical signal aquisition are considered, namely through an energy electron loss spectroscopy and an energy dispersive X-ray (EDX) spectroscopy. However, the emphasis is placed on the EDX as the most widely used technique. The spatial resolution, relation between sample geometry, incident electron beam and location of the EDX detector, detectability limit and deconvolution procedures are discussed as parameters which have strong impact on the quality of the chemical analysis. Potential and capabilities of the EDX technique are shown at the examples of chemical analyses performed in order to estimate the elements distribution in electronic contacts, surface layer of Ti-based alloys laser remelted at nitrogen environment and MoSi multilayers used in X-ray diffraction.