Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.

Tytuł pozycji:

Detectors of UV and infrared radiation obtained using silicon micromachining

Szczegóły
Abstrakt

Tytuł:: Detectors of UV and infrared radiation obtained using silicon micromachining
Autorzy:: Dobrzański, L.
Data publikacji:: 2001
Słowa kluczowe:: micromachine
radiation
Język:: angielski
Dostawca treści:: BazTech
: Artykuł

Przejdź do źródła

Technology of the surface silicon micromachining developed in ITME compnses fabrication of a porous silicon as a sacrificial layer. This is need to suspend device over a cavity and thermally isolate sensing element from the heat sink. Two types of devices have been fabricated and characterised a: bolometer and a termopile.

Ta witryna wykorzystuje pliki cookies do przechowywania informacji na Twoim komputerze. Pliki cookies stosujemy w celu świadczenia usług na najwyższym poziomie, w tym w sposób dostosowany do indywidualnych potrzeb. Korzystanie z witryny bez zmiany ustawień dotyczących cookies oznacza, że będą one zamieszczane w Twoim komputerze. W każdym momencie możesz dokonać zmiany ustawień dotyczących cookies

Informacja

Detectors of UV and infrared radiation obtained using silicon micromachining