Makronaprężenia własne cienkich warstw - pomiar metodą [wzór] w nowej geometrii dyfrakcji przy stałym kącie padania (SKP)

W pomiarach naprężeń własnych (NW) występuje wiele problemów związanych z metodologią. Metody oparte są na zależności różnych właściwości od naprężeń i dodatkowo mają różny zasięg pomiarowy, tzn. różną powierzchnię pomiaru i efektywną głębokość pomiaru. To utrudnia porównywanie wyników i ich interpretację. Ważna grupa metod oparta jest na dyfrakcji promieni X i neuronów a wśród nich rozpowszechniona jest metoda [wzór]. W artykule opisano wyniki pomiaru NW warstw TiN na podłożu ze spiekanej stali szybkotnącej. Ponieważ konwencjonalna metoda [wzór] udawała wyniki trudne do interpretacji, zastosowano zmodyfikowaną metodę [wzór] opartą o dyfrakcję w geometrii stałego kąta padania. Problemy interpretacyjne wyników klasycznej metody [wzór] związane były z anizotropią teksturową, z gradientem NW i zmienną efektywną głębokością wnikania. Zastosowanie nowej zmodyfikowanej metody [wzór] dało zazadowalające wyniki.

---

There are a lot of discrepancies in results of residual macro-stresses measurements. Some of them are due to methodology and other are due to complexity of material and sample preparation. X-ray diffraction methods are on important group amoung others, but they differ one to another in geometry of measurement, in effective depth of penetration. On the other hand, residual stress in samples can present complex distribution and material can be treated as isotropic and/or anisotropic body. Macro-residual stresses in TiN coatings deposited on sintered high-speed steel were measured with new methodology developed due to grazing angle X-ray beam diffraction geometry. The new method named [formula] is less sensitive to texture anisotropy and is able to measure in well-defind and constant volume of irradiated sample. The obtained results can inform about gradient of residual stresses along thickness of the coating.