Synteza warstw ZrO2 metodą MOCVD

Warstwy tlenku cyrkonu na rurkach ze szkła kwarcowego otrzymywano metodą MOCVD z użyciem acetyloacetonianu cyrkonu (Zr(acac)4) i powietrza przy obniżonym ciśnieniu. Odpowiednio dobrane parametry procesu pozwoliły uzyskać krystaliczne warstwy już w temperaturze ok. 600 stopni C. Otrzymane warstwy badano przy użyciu mikroskopu skaningowego. Przeprowadzono również analizę rentgenowską tych warstw. Przewiduje się, że zastosowana technologia nanoszenia warstw tlenku cyrkonu może być przydatna do otrzymania kompozytowego elektrolitu dla tlenkowych ogniw paliwowych nowej generacji.

---

Zirconium oxide layers were deposited on quartz glass substrates by MOCVD method using zirconium acetyloacetonate (Zr(acac)4 and air under reduced pressure. Polycrystalline layers were obtained at temperature of 600 degree C. They were examined by scanning microscopy. X-ray analysis of obtained layers was also performed. It seems that this way of deposition of zirconium oxide layers’ ll be useful to obtain new electrolyte for SOFC.