Basic electrical and optical properties of protective SiCx and SiNy layers

First results of fundamental investigations of protective SiCx and SiNy layers concerning light transmission in the range 300 mtiv 900 nm and electrical conductivity at the conditions of dc and transient currents are given in the paper. These investigations allow to determine the basic electrical and optical properties of covalent-bonded Si-based coatings from the point of view of potential industrial applications of such layers.

---

W artykule zamieszczono wyniki badań podstawowych właściwość elektryczne i optyczne cienkich powłok SiCx i SiNy, w tym transmisji światła w zakresie 300 nm-^ 900 nm oraz charaktery™ przewodności uzyskanych w pomiarach stałoprądowych charakterystyk prądów przejściowych. Badania te umożliwi określenie podstawo-wych właściwości elektrycznych i optycznjol istotnych z punktu widzenia zastosowań tych warstw w przemyśle.