Charakterystyka powłok Al2O3 wytwarzanych metodą aerozol-żel

W pracy przedstawiono wyniki badań nad metodą wytwarzania powłok Al2O3 metodą aerozol-żel. Metoda ta jest modyfikacją klasycznego procesu zol-żel i polega na ultradźwiękowym generowaniu mgły aerozolu i osadzaniu go na wybranym podłożu. Zaletą takiej modyfikacji jest możliwość osadzania powłok tlenkowych na podłożach o skomplikowanej lub porowatej powierzchni. Powłoki Al2O3 osadzane metodą aerozol-żel były następnie obrabiane cieplnie temperaturze 300÷700°C. Przeprowadzono badania morfologii powierzchni, budowy chemicznej i strukturalnej oraz twardości i adhezji wytworzonych powłok. Stwierdzono, że po wygrzewaniu w 300°C powłoka wykazuje amorficzną strukturę pseudobohemitu, natomiast po wygrzewaniu w temperaturze 500°C i 700°C otrzymano powłoki y-Al2O3.

---

An aerosol-gel technique has been used for film deposition in this work. This process is the modification of the sol-gel method in which ultrasonically generated aerosol is used for formation of liquid films. The aerosol-gel method enables the deposition of films on substrates with complex or porous surface In this work the alumina aerosol-gel deposited films were thermally treated at the temperature of 300÷700°C. The study of surface morphology, chemical and crystalline structure as well as hardness and adhesion of films were carried out. The dependence of deposition and condensation conditions on morphology and structure of the films have been studied. It was found that after annealing at 300°C film revealed amorphous psuedobohemit structure while after annealing at 500°C and 700°C y-Al2O3 films were obtained.