Zastosowanie metod kwantowych w badaniu ścieżek reakcji w CVD

Praca podejmuje problem termodynamicznych aspektów reakcji chemicznych, jakie decydują o przebiegu procesów CVD. Opisano sposób wyznaczania parametrów termochemicznych z zastosowaniem metod kwantowych. Przedstawiono teoretyczne podstawy metody obliczeń z uwzględnieniem kluczowego znaczenia funkcji sumy statystycznej. Wskazano przyczynki do energii cząsteczki, które należy uwzględnić w obliczeniach ciepła i energii swobodnej reakcji. Przykładowe obliczenia wykonano z zastosowaniem programu Gaussian03W dla wybranych reakcji o istotnym znaczeniu dla procesów CVD. Pokazano również, że metody kwantowe stanowią efektywne narzędzie w przewidywaniu ścieżek reakcji.

---

This article concerns thermodynamic aspects of chemical reactions which determine CVD processes. A way of calculation of thermochemical parameters with application of quantum methods is presented. Theoretical basis of computational model are described and key role of partition function is discussed. The contributions to the molecular total energy which are to be included into reaction heat and free energy calculations are indicated. Exemplary results of calculations performed with use of Gaussian03W program for some typical CVD reactions are presented. It is also shown that quantum methods provide effective tool in predicting reaction pathway.