Zastosowanie światłowodowych czujników odbiciowych do pomiaru przemieszczeń w ruchomych strukturach MEMS

Pokazano konstrukcję natężeniowego światłowodowego czujnika odbiciowego do pomiaru przemieszczeń w ruchomych strukturach MEMS. Przedstawiono system pomiarowy oraz wyniki pomiarów. Analizowano wpływ konstrukcji i parametrów czujnika oraz układu pomiarowego na charakterystyki wyjściowe ze szczególnym uwzględnieniem zmian współczynnika odbicia.

---

The construction of intensity optical fiber reflectance sensor used for measuring displacements of the movable MEMS structures was shown. The measurement system and the measurement results were presented. The influence of the construction and the parameters of the sensor as well as the measurement system on the output characteristics with particular emphasis on the changes in refractive index was analyzed.