Optymalizacja mikrofalowego generatora plazmy o strukturze współosiowej zasilanego falowodem

W niniejszym artykule przedstawiono wyniki optymalizacji transferu energii w mikrofalowym generatorze plazmy o strukturze współosiowej zasilanym falowodem WR 340. Do obliczeń posłużono się programem Comsol Multiphysics. Dla zwartego odcinka linii współosiowej o optymalnej długości 52 mm, minimalny stosunek mocy fali odbitej do mocy fali padającej mierzony w płaszczyźnie wejściowej prezentowanego generatora plazmy zmniejszył się czterokrotnie.

---

We present optimization process of energy transfer in waveguide-based, coaxial-type microwave plasma source (MPS). The MPS did not work correctly. Comsol Multiphysics software was used to numerical investigate the problem. For shorted coaxial line section length equal to 52 mm the input microwave power reflection coefficient decreased 4 times.