Deposition conditions effect on physical properties and surface topography fractal dimension of the Ti+Ti(CxN1-x) coatings obtained in the PVD process

The paper presents investigation results of the effect of deposition parameters on structure and mechanical properties of the Ti+Ti(CxN1-x) coatings obtained by magnetron sputtering in the vacuum furnace onto the ASP 30 sintered high speed steel. Effect of sputtering parameters on chemical and phase compositions, thickness and micro-hardness were evaluated. The characteristic structure and surface topography of the analyzed coatings are presented the fractal character of the surface topography was confirmed.

---

W pracy przedstawiono wyniki badań wpływu parametrów pokrywania na strukturę i własności mechaniczne powłok Ti+Ti(CxN1-x) uzyskanych przez rozpylanie magnetronowe w piecu próżniowym na podłożu ze spiekanej stali szybkotnącej typu ASP 30. Oceniono wpływ parametrów rozpylania na skład chemiczny i fazowy, grubość oraz mikrotwardość analizowanych powłok. Przedstawiono charakterystyczną strukturę oraz topografię powierzchni analizowanych powłok oraz wykazano jej fraktalny charakter.