Wpływ temperatury wygrzewania na mikrostrukturę cienkich warstw Zn-Bi-O

Warstwy Zn-Bi-O otrzymano w procesie rozpylania magnetronowego. Otrzymane warstwy wygrzewano do temperatur 900 stopni C, dla czasów od 1 min do 4 godzin. Na podstawie wykonanych badań rentgenograficznych i mikroskopowych przedstawiono skład chemiczny, fazowy oraz mikrostrukturę tak wygrzewanych warstw.

---

Zn-Bi-0 thin films were obtained by magnetron sputtering . Then the layers were calcined up to 900 °C for heating period from 1 min to 4 h. Phase analysis and crystallite size were performed by XRD. Chemical composition and microstructure of thin films were investigated by SEM.