Zastosowanie organizacji połączeń tytanu i krzemu w technologii krzemowej

Przedstawiono badania z zastosowaniem organicznych kompleksów tytanu oraz wybranych związków fosforu, boru, arsenu i antymonu do modyfikacji powierzchni płytek krzemowych, stosowanych w elektronice. Z szeregu przetestowanych kompleksów tytanu najlepsze właściwości dla otrzymania antyrefleksyjnych powłok tlenku tytanu (IV) wykazał diizopropoxy-bis(2,4-pentanodioniano)tytan(IV). Do wytwarzania szkliw domieszkowych wytypowano tetraetoksysilan, kwas borowy(III), kwas fosforowy(V), chlorek antymonu(III) i kwas arsenowy(V).

---

The investigations on the application of complexes of titanium and selected phosphorus, boron, arsenic and antimony compounds for the modification of the obtaining thesurface of silicone plates for electronic purposes have been presented. The best properties for obtaining the titanium dioxide antireflective coatings performs, among number of examined titanium complexes, diizopropoxobis(2,4-pentanedionato)titanium. Tetraethoxysilane, boric acidphosphoric acid, antimonium (III) chloride and arsenic acid were chosen for the preparation of doping glazes.