Oprogramowanie stanowiska do identyfikacji parametrów dynamicznych oraz regulacji temperatury pieca do dyfuzji półprzewodników

Niniejszy artykuł przedstawia opis oprogramowania stanowiska badawczego wykorzystywanego do identyfikacji parametrów dynamicznych oraz do precyzyjnej regulacji temperatury wielosekcyjnego pieca oporowego do dyfuzji półprzewodników. Opracowane oprogramowanie umożliwia identyfikację parametrów dynamicznych obiektu badań drogą testów wieloczęstotliwościowych wykorzystujących sygnały MBS oraz regulacje temperatury za pomocą różnych wersji algorytmów typu PID oraz regulatora optymalnego w sensie minimalizacji kwadratowego wskaźnika jakości regulacji.

---

This paper describes a research stand used to identification of dynamic properties and precise temperature control of multi-section resistance diffusion furnace. Worked out software made possibility of MBS identification of dynamics parameters and temperature control with usage different control strategy.