Wybrane problemy zastosowania techniki ablacji laserowej do wytwarzania cienkich warstw BaCeO3

Przedmiotem badań były cienkie warstwy BaCeO3, które miały stanowić element przewodzący w piezorezystywnym czujniku gazu. Zakładane funkcje warstwy BaCeO3 skłaniały do zastosowania przy jej wytwarzaniu techniki ablacji laserowej. Próby wytwarzania warstw poprzedzono symulacją składu fazowego strugi wzbudzonej przez wiązkę laserową, w zmiennych warunkach temperaturowych, przy różnym składzie i ciśnieniu atmosfery w komorze ablacyjnej. Symulację przeprowadzono w programie FactSage™5.4.1, dla układu BaO-CeO2 i BaO-CeO2-Si. W pracy zastosowano oryginalną metodę oceny grubości warstw na podstawie efektów interferencyjnych.

---

Thin BaCeO3 layers were produced by the laser ablation technique on Si (100) substrate. Layers were deposited with the following parameters: temperature: T = 20, 500, 600, 700°C, type of atmosphere: vacuum or oxygen. The obtained layers were examined by the X-ray diffraction phase analysis in Bragg-Brentano geometry and by structural observation in a scanning electron microscope (SEM) with EDS analyses. Before laser ablation process we simulated the phase composition using FactSageTM5.4.1 program for system BaO-CeO2 and BaO-CeO2 -Si. In this paper we proposed the original methods for calculation the thickness of the layers using the interference effects.