Struktura i właściwości warstw kompozytowych typy Al2O3 + AIN wytworzonych na podłożu Niklu 200 metodą PACVD z użyciem trimetyloglinu

W artykule przedstawiono wyniki badań struktury i składu chemicznego warstw Al2O3, Al2O3 + AlN otrzymanych na podłożach wykonanych z Niklu 200 metodą PACVD z użyciem związku metaloorganicznego trimetyloglinu. Warstwy te charakteryzuje duża twardość, wysoka odporność na ścieranie, chemiczna stabilność. Stosowano następujące techniki badawcze: mikroskopia świetlna SEM + EDS, AES, XRD, badania mikrotwardości, badania korozyjne.

---

The structure and chemical composition of composite oxynitrided layers obtained on Nickel 200 by PACVD method using metaloorganic compound (trimethylaluminium Al(CH3)3) are described. X-ray microanalysis examinations, confirmed by X-ray diffraction and Auger electron spectroscopy, shows that obtained layer contains Al2O3 and AlN phases.The obtained layer shows high hardness (1300 HV0,05) and good corrosion resistance.